显微镜专用压电定位/扫描台
姓名：李工(William)
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对于高分辨显微科学而言，快速的控制样品的位置是获得高质量影像的必要条件，因此压电平台是高分辨显微科学研究的必要工具。
压电平移台是利用压电陶瓷的形变驱动，以柔性铰链为导向，采用硅高精度位移传感器，并利用超低电子噪声的控制器使位移平台拥有紧凑的体积、亚微米的分辨率及超低底噪。被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。
其中中空式压电平台是指平台台面有透空通孔的平移台。主要应用于透光精密光学器件的定位与调整，可与显微镜和分析设备结合使用用于定位与测量。如超分辨显微镜、原子力显微镜（AFM显微镜）生物学研究等。
昊量光电的中空式压电平台可提供不同维度及行程的位移平台。主要包括以下产品：
1） 中空式压电平移/扫描台，
可提供一维/二维/三维等不同维度的平移台，可提供不同行程，不同通孔的平台。该平台采用对位移敏感的硅传感器，使平台体积超紧凑，并且有超低底噪。
2）手动压电混合定位平台
压电平台可以与配套的手动位移平台使用，也可以提供完全的混合集成定位平台用于倒置光学显微镜（蔡司，奥林巴斯，尼康，徕卡），混合定位系统，由手动位移平台和压电平台组成，其中手动位移平台通常适配市面上大部分的光学显微镜，可提供X，Y两个维度的移动，行程可达到25mm，可进行位移粗调，压电平台进行亚纳米分辨率的定位与扫描。
3）压电物镜定位器
该平台主要用于物镜Z轴方向定位和扫描。可提供100-300μm的行程，广泛用于Z轴堆叠；3D成像；自动对焦等应用。可自由更换安装环，可适配RMS，M25，M26，M27和M32等物镜。
u 产品特点
l 高分辨率（0.01nm）
l 大行程1500mm
l 高速度，自振频率可达7000Hz
l 采用硅传感技术
l 超低底噪
l 柔性铰链导向
u产品参数
Unit
HS1.10
HS1.30
HS1.50
HS1.70
HS1.100
LF1.100
LF1.200
LF1.300
FOC
Range of motion
mm
10
30
50
70
100
200
300
Resolution
nm
0.01
0.03
0.05
0.07
0.1
0.2
0.3
Typical noise floor
0.001
0.003
0.005
0.007
0.02
Full range repeatability
0.06
0.14
0.4
0.6
Stiffness
N/mm
5.2
3
1.1
0.5
Maximum load :
horizontal use
Kg
1
vertical use
Sensor
Silicon HR sensor
Material
Al
Cable length
m
2
Controller
Standard or High Speed
Standard