HiLASE中心Perla激光系统多光束微米级加工系统新进展
近日,据捷克HiLASE中心1报道,Perla激光系统2在多光束微加工领域中的应用有了新的进展。
搭配Meopta-optika, s.r.o.公司研发的分束、聚焦、以及监控模块,使用电流振镜和HiLASE高能量脉冲激光系统,一个515nm的脉冲,被分成784束,在一张不变钢箔片上单次加工成形了784个高精度孔洞,同时几乎没有产生明显的热效应和热损伤区域。新的加工方式因此可以极大提高加工效率和工件吞吐量。
上海昊量光电同时提供用于激光测量的光束分析设备,以及用于加工质量检测的声学探测设备。